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RSP-100型扫描式磁控溅射设备
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RSP-100型扫描式磁控溅射设备

PVD又称物理气相沉积,RSP-100为多靶水平磁控溅射系统,专为实验室工艺研发、材料开发等功能开发的一款多功能实验性平台,可满足自动往复多次镀膜的要求。
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