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吸杂炉
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吸杂炉

扩散炉是半导体生产线前道工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火，合金及烧结等工艺。
吸杂炉通过高温把磷扩散道硅表面，对硅体内部金属起到吸杂的作用。系统具备自动监测及自动控制功能，亦可通过人工控制，完成整个的工艺处理。
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