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RSP-6000 平板式PVD

设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。
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产品描述
设备概述:
设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。
 
产品的主要特点及优势:
膜块化设计,便于安装以及产能升级;
满足不同温度沉积ITO薄膜,工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术,靶材利用率高;
分区加热和控温,具有出色的控温系统和控温性能。
 
 
 
 
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