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M82300-3/UM型PECVD镀膜设备
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M82300-3/UM型PECVD镀膜设备

高温氧化炉是半导体器件加工中的典型热处理设备,用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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